一、什么是超純水：
超純水是為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當?shù)某R界精細技術生產(chǎn)出來的水，其電阻率大于18 MΩcm，或接近18.3 MΩcm極限值（25℃）。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水 。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質量難以保證。
二、為什么超純水需要氮氣保護：
超純水系統(tǒng)中為什么需要用氮封水箱?我們都知道空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質，而超純水為純的溶劑，對這些雜質的溶解能力很強，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質就會下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右。因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸，而氮封水箱是常見，實施簡單，效果好。
超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內，水箱內氮氣壓力不大于1Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質溶入水中影響水質，保證水箱內的水不受二次污染而導致水質下降。
三、超純水的應用范圍：
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。
3、單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
四、氮封系統(tǒng)簡介：
LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統(tǒng)閥由ZZYVP-16B供氮閥、ZZVP-16K泄氮閥和HXF-10呼吸閥三部份組成，形成二次保護裝置。供氮閥一般設定壓力1KPa，泄氮閥設定壓力2Kpa，呼吸閥設定壓力+3KPa/-298Pa。
1、供氮閥介紹：
氮封系統(tǒng)是一套無需外加能源，利用被調介質本身壓力變化而實現(xiàn)自動調節(jié)，使閥后壓力恒定，整機具有動作靈敏、控制壓力波動小、節(jié)約能源。它由供氮閥、泄氮閥和呼吸閥三部份組成，形成二次保護裝置。
LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統(tǒng)閥是一套自力式微壓力控制系統(tǒng)， 用于保持容器頂部保護氣(一般為氮氣)的壓力恒定，以避免容器內物料與空氣直接觸，防止物料揮發(fā)，被告氧化，以及容器的安全。應用各類大型儲罐的氣封保護系統(tǒng)。當罐內壓力降低時，供氮閥打開補充罐內氮氣壓力；當罐內壓力超高時，泄氮閥打開自動泄壓。始終保護罐內壓力恒定。
采用動力源與信號點分開檢測的方法，外加可調節(jié)流裝置，使整臺閥門的調節(jié)精度大大提高，減壓比最大可達2000:1。廣泛應用于各種氣體減壓穩(wěn)壓的自動控制場合，特別適合作為氮封的供氮閥使用，具有持續(xù)供氮壓力波動小、反應靈敏等特點。
2、泄氮閥介紹：
主要用于超純水箱氮封系統(tǒng)泄壓用，當水箱內壓力超高時，自動打開泄壓，以保護水箱安全性，與呼吸閥的工作原理一致。
它主要由執(zhí)行機構、下閥蓋、閥體、閥內件等部件組成。整體為內取壓式，無需像供氮閥另接導壓管進行壓反饋。使用安全更方便。
四、超線水箱氮封系統(tǒng)整體工作原理：
當儲罐出水閥開啟，放料時，液面下降，氣相部分容積增大，罐內氮氣壓力降低，ZZYVP-16B供氮閥開啟，向儲罐注入氮氣，罐內氮氣壓力上升，當罐內壓力上升至供氮閥壓力設定值時，供氮閥自動關閉。
當儲罐進水閥開啟，進料時，液面上降，氣相部份容積減小，罐內壓力升高，當高于ZZVP-16K泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥打開，向外界釋放氮氣，罐內氮氣壓力下降，降至泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥自動關閉。
五、安裝、維護與調試：
1、安裝：
（1）檢查整機零件是否缺損與松動，對使用有害人體健康的介質，必須進行強度、密封、泄漏與精度測試。
（2）在安裝前，對管道進行清洗（否則由于焊渣等管道垃圾，損壞閥芯密封面，導致閥門不能正常工作），閥門入口處要有足夠的直管段，并配有過濾器。閥體與管道的法蘭連接，要注意同軸度。
（3）安裝場地應考慮到人員與設備的安全，即便于操作，又有利于拆裝與維修。
（4）閥門應正立垂直安裝在水平管道上，導壓管必須安裝在距離閥出口至少六倍于公稱通徑的閥后管道上。閥自重較大與有振動的場合，要用支撐架，盡量避免水平安裝。
（5）介質流動方向應與閥體上的箭頭指向一致。因微壓閥屬于精密儀表，其中膜片直接承受介質壓力，若閥門反裝或管道有反沖壓力，則膜片由于受壓過高導致膜片損壞，閥門不能工作。閥門應在環(huán)境溫度-25～+55℃場所使用。
（6）為使自控系統(tǒng)失靈或檢修閥門時，仍能連續(xù)生產(chǎn)，應設置旁路閥。
2、維護：
（1）清洗閥門：對清洗一般介質，只要用水洗凈就可以。但對清洗有害健康的介質，首先要了解其性質，在選用相應的清洗辦法。
（2）閥門的拆卸：將外露表面生銹的零件先除銹，但在除銹前，要保護好閥座、閥芯、閥桿與推桿等精密零件的加工表面。拆裝閥座時應使用專用工具。
（3）閥芯、閥座：二密封面有較小的銹斑與磨損，可用機械加工的方法進行修理，如損壞嚴重必須換新。但不管修理或更換后的硬密封面，都必須進行研磨。
（4）閥桿：表面損壞，必須換新。
（5）壓縮彈簧：如有裂紋等影響強度的缺陷，必須換新。
（6）易損零件：密封墊片與O型圈，每次檢修時，全部換新。膜片必須檢查是否有可能發(fā)生裂紋、老化與腐蝕等痕跡，根據(jù)檢驗結果，決定是否更換，但膜片使用期一般最多2～3年。
（7）閥門組裝要注意對中，螺栓要在對角線上擰緊，滑動部分要加潤滑油。組裝后應按產(chǎn)品出廠測試項目與方法調試，并在這期間，可更準確地調整填料壓緊力與閥芯關閉位置。
3、調試：
所需要壓力值是對執(zhí)行器頂部的調節(jié)螺桿或螺母的操作而得到調整，打開頂部的防塵蓋，用扳手調整調節(jié)螺桿或螺母。順時針方向旋轉使設定壓力增大，逆時針旋轉則使設定壓力減小。安裝在微、差壓調節(jié)閥后的壓力表，可使工作人員借以觀察調整后的壓力設定值。
4、注意事項：
（1）嚴禁調壓閥安裝后再進行焊接。
（2）調壓閥投入運行前特別注意沖刷、清洗管道，防止焊渣、污物、卡在節(jié)流口，破壞密封面。造成使用前密封面先損壞，調壓閥失效的現(xiàn)象。
（3）沖洗管道時應使調壓閥處于全開位置，便于污物、硬渣通過。
六、訂貨時請注明下列內容：:
（1）閥門型號
（2）通徑×閥座尺寸Kv值
（3）閥體壓力及連接形式
（4）閥體和閥內組件的材料
（5）閥特性及閥芯的形式
（6）上閥蓋形式
（7）執(zhí)行機構形式，是否帶手輪機構及供氣壓力
（8）正/反作用（氣關式或氣開式）
（9）附件（帶過濾器減壓閥等）
（10）特殊要求（禁水處理，禁銅等）
（11）介質名稱
（12）正常流量及最大流量
（13）介質壓力，閥全開和全閉時閥進口和出口壓力
（14）介質溫度和比重
（15）介質粘度，是否
