“如果您的測試PAD大于30μm，M系列則是您在實驗室中的優(yōu)選設(shè)備之一”
產(chǎn)品亮點
- UPStart模塊化設(shè)計
- 可根據(jù)測試需求配置相應(yīng)模塊，多種配置可選
- 封閉式移動平臺，防塵，防誤操作，耐用時間長，定位更精準(zhǔn)
- POMater自適應(yīng)隔震底座
- 采用德國進口隔震材料，提高測試穩(wěn)定性
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | M4 | M6 mini | M6 | |
| 外形（長*寬*高） | 650*490*620mm | 650*490*620mm | 650*490*620mm | |
| 重量（KG） | 約45kg | 約47kg | 約52kg | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
| 卡盤 常溫標(biāo)準(zhǔn) | 卡盤尺寸 | 4" | 6" | 6" |
| 樣品固定方式 | 環(huán)形及多孔真空吸附（可定制） | |||
| 背電極測試功能 | 有/樣品臺電學(xué)獨立懸空 | |||
| 卡盤材質(zhì) | 316#不銹鋼（可選黃銅鍍鎳or鍍金） | |||
| 卡盤 移動平臺 | X-Y行程 | 100*100mm | 100*100mm | 150*150mm |
| 移動精度 | 10μm | |||
| Theta行程 | 360°旋轉(zhuǎn)（粗調(diào)）；可旋轉(zhuǎn)微調(diào)，微調(diào)精度0.002° | |||
| 卡盤升降 | N/A | |||
| 卡盤快速拉出 | N/A | |||
| 控制方式 | 小型旋鈕驅(qū)動 | |||
| 針座平臺 | 平臺尺寸 | 長540mm*寬310mm | ||
| 卡盤到平臺距離 | 8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面） | |||
| 針座數(shù)量 | 最多可放置6針座（DC×6/RF×4,DC×2) | |||
| 針座平臺升降 | N/A | |||
| 針座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | |||
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡規(guī)格 | 標(biāo)配體視顯微鏡（可選配視頻顯微鏡） | ||
| 放大倍數(shù) | 16~100X | |||
| CCD像素 | 3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字） | |||
| 顯微鏡控制行程 | 顯微鏡調(diào)焦架控制可360度旋轉(zhuǎn)，Z軸：50.8mm | |||
| 顯微鏡移動精度 | N/A | |||
| 鏡頭切換方式 | N/A | |||
| 點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | ||
| 機械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | |||
| 漏電精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱時） | |||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口 | |||
（*規(guī)格和設(shè)計如有更改，恕不另行通知。）
